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本報記者 鄭馨悅

盛劍環境于10月19日晚間披露關于簽訂重大訂單的公告。盛劍環境（股票代碼：603324）全資子公司上海盛劍半導體科技有限公司與北方華創（股票代碼：002371）全資子公司北方華創微電子簽訂半導體工藝制程附屬設備Local Scrubber（簡稱“L/S”）采購訂單，合同總額1億元（含稅）。

Local Scrubber用于對制程過程中產生的含氟、氯、硅等元素為代表的成分復雜的有毒有害廢氣進行源頭處理，該設備一端與泛半導體工廠工藝設備相連，通過真空泵抽取工藝設備內產生的廢氣并進行分解；另一端與中央治理系統相連，將分解后的尾排氣體排至中央處理裝置并進行后續處理。Local Scrubber屬于半導體工藝制程設備的一部分，其對運行穩定性及氣體處理效率要求高，能夠有力保障泛半導體客戶的產能利用率、產品良率、員工職業健康及生態環境，是泛半導體客戶生產工藝不可分割的組成部分。

盛劍環境此前在投資者關系活動記錄表中表示，目前公司Local Scrubber等制程附屬設備性能已達到國外同行水平，并且具備更好的性價比，特別是在交付能力、安裝調試及售后服務響應速度、本土化制造供應鏈支持方面有較為明顯的優勢，滲透率仍有較大提升空間。隨著國內泛半導體行業的高景氣度發展，特別是在國產替代和供應鏈安全的大趨勢下，盛劍環境作為本土制程附屬設備供應商面臨難得的歷史機遇和發展空間。

（編輯 張鈺鵬 才山丹）

關鍵詞： 附屬設備