作為全國集成電路產業發展的重要布局，粵港澳大灣區正在與京津冀、長三角地區形成優勢互補，加快打造產業發展的第三極。2021年11月，千億級廣東省半導體及集成電路產業投資基金以及三支子基金宣布成立，極大帶動了大灣區半導體投資熱情。對于半導體專業投資基金賦能產業的進展，記者實地探訪了近期獲投標的---高端精密裝備零部件供應商深圳市克洛諾斯科技有限公司。

系統化創新高端精密部件

坐在副駕駛位置上，克洛諾斯董事長楊光帶領記者乘車參觀克洛諾斯分散在深圳光明工業區內的兩處廠房。深圳廠房面積合計約8000平方，但場地仍顯不足。

“我們天天跟園區保安打聽，哪里有空閑廠房就趕緊搬進去，鋪設產線。” 2018年初，楊光與合伙人在深圳寶安開啟了克洛諾斯新篇章，主營業務為超精密直線電機運動平臺。去年公司發布了全新自主研發的專利產品“小藍動力導軌”， 將電機與導軌有機結合，拓展到鋰電池、光伏等多個行業市場，2021年年底，克洛諾斯發布了重復定位精度達±50nm的超精密氣浮平臺，對標國際先進高端技術水平。目前公司積累了上百項專利和7000多種非標精密平臺的研發經驗，并獲評為廣東省“專精特新”企業。

當前精密設備行業精度要求逐步提高，已經從早期的5μm-10μm發展至1μm-5μm，未來精密運動系統的定位精度將進一步提高至0.5um-1um。公司提供的測試數據顯示，克洛諾斯主打的“小藍”動力導軌最高速度可達4米/秒，重復定位精度可達到±3um，比絲桿傳動電機的精度高出一個數量級；若配合光柵尺或磁柵尺，系統精度甚至可達到±1um，并且具備長行程、小體積、大推力、高剛性等特點。

另一方面，產品組件高度標準化、集成化也是克洛諾斯的特色。 “小藍”動力導軌將導軌、直線電機、傳感器有機整合，搭建起完整的閉環運動系統，便于客戶靈活組裝和維護，適應不同種類的下游行業需求，而且產品成本幾乎是同類直線電機產品的一半。

目前克洛諾斯主打的精密LDI激光直寫平臺，其產品定位精度可達到±1.5um，營收貢獻已經過億元，在產業鏈自主可控趨勢下，訂單量穩步增長。據了解，在國產直寫光刻龍頭芯碁微裝的供應商中，克洛諾斯產品已經替代中國臺灣HIWIN、美國Aerotech；在影速科技的供應商中，公司也替代了中國臺灣HIWIN、新加坡Akribis。

從市場競爭生態來看，中高端精密運動系統領域仍主要由境外以及中國臺灣等地區廠商主導，以美國Aerotech、美國Newport、德國PI、新加坡Akribis以及中國臺灣HIWIN等為代表壟斷高端市場。在國產化浪潮下，國產本土廠商在系統、平臺級產品層面不斷通過性價比、服務響應以及產業鏈整合能力等多方面優勢，逐步趕超國際先進水平。

“受益于國內靈活的產業鏈和廣闊的應用市場，使得公司可以在精密設備上進一步創新。”楊光進一步表示，產品標準化意味著縮短了從設計到交付周期，提升了生產效率，適用于3C電子、新能源鋰電、太陽能光伏等自動化生產線的迅速大規模上量需求，市場規模預估將到百億元規模。

進軍半導體設備市場

近年來粵港澳大灣區在大力補齊半導體制造短板，發展集成電路產業第三極，2021年11月成立了廣東省半導體及集成電路產業投資基金，分設風險、設計、生態三支子基金，以及成立了總規模1000億元的粵港澳大灣區科技創新產業投資基金。

雖然今年以來一級投資市場受二級市場影響，半導體領域投資出現降溫，但半導體行業裝備和材料賽道標的估值依舊穩健。

繼2021年7月，克洛諾斯A輪獲深圳華強創投和中小擔創投投資3000萬元，今年上半年公司獲中芯聚源B輪近億元獨家投資。企查查顯示6月24日克洛諾斯出現工商變更，深圳聚源芯創私募股權投資基金合伙企業（有限合伙）新增成為公司股東，最新占比10.71%；中芯聚源董事總經理郎立研新增成為公司董事。

中芯聚源是國內半導體及集成電路產業專業投資機構，此前投資地域主要集中在長三角地區；去年11月中芯聚源正式成為廣東省生態子基金的管理人，其管理的基金規模70億元，聚焦于大灣區集成電路產業鏈上下游企業投資。

郎立研向記者介紹，本次對克洛諾斯的投資便是來自生態子基金，目前已經有十幾家企業投資過會。當前深圳政府高度重視半導體設備與材料端的投資，克洛諾斯正好從事設備上游的通用型零部件領域。

“選擇投資克洛諾斯的重要背景就是公司占據著自動化、高端裝備賽道，產品具有特色，已經實現系統級‘know-how’創新；同時團隊市場化程度高、執行力強，并在產業鏈上深入磨合，業務穩步增長。”郎立研表示，克洛諾斯所服務的客戶既有中芯聚源已投企業，也有意向投資標的，高度契合；本次投資后，中芯聚源將發揮在半導體產業積累的資源，幫助克洛諾斯從后端封測向前道晶圓制造，逐步深入布局半導體裝備市場。

克洛諾斯董事長楊光也表示，非常榮幸得到中芯聚源和其他投資人的認可和投資。克洛諾斯致力于打造支持集成電路發展的運動控制平臺基石，將立足先進工藝，打造更高技術標準的精密產品，助力提升半導體產業核心競爭力。

根據楊光規劃，隨著投資資金到位，克洛諾斯產能正在快速擴張和釋放，深圳廠區產能將從約1億元增至5億元，并且未來重點將投向半導體裝備零部件領域。組織架構上，克洛諾斯將聯合上海交通大學、廣州工業大學、哈工大等成立高端裝備研究院，主攻半導體高端精密設備賽道；技術層面，克洛諾斯聯合韓國INNO6開發生產的用于晶圓檢測和切割的精密運動設備，重復定位精度可達到±5nm，最大速度達到1500mm/s。

產業鏈方面，克洛諾斯也在逐步完備建設。去年克洛諾斯在半導體新興重鎮安徽合肥，建成了3500平方恒溫車間及辦公區域，就是為了便于貼近客戶供貨，進一步滿足長三角市場需求；公司還在山東濟南成立大理石加工中心，保障操作機臺原材料供應；為加強長三角地區布局，公司還在蘇州、無錫等地設立辦公點，后續還計劃在越南設廠，產品甚至有望售往日本韓國等海外市場。

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